石島達夫, 菅井秀郎他1名: "Electron Temperature Control by Rare Gas Mixing with Metastable Atom Contribution"Proceedings of International Conference of Dry Process Symposium 2001. 87-92 (2001)
石島達夫, 菅井秀郎他1名: "Electron Temperature Control by Rare Gas Mixing with Metastable Atom Contribution"Proceedings of International Conference of Dry Process Symposium 2001. 87-92 (2001)
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Tatsuo Ishijima、Hideo Sugai 等 1 人：“利用亚稳态原子贡献的稀有气体混合进行电子温度控制”国际干法研讨会论文集 2001. 87-92 (2001)
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