H.J.Kim etal: "Cluster Size Determination in the Chemical Vapor Deposition of AlN" J.of the American Ceramic Socity. (in printing).
H.J.Kim etal: "Cluster Size Determination in the Chemical Vapor Deposition of AlN" J.of the American Ceramic Socity. (in printing).
复制标题
H.J.Kim 等人:“AlN 化学气相沉积中的团簇尺寸测定”,美国陶瓷学会杂志。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: