超小型誘導結合型プラズマ源の粒子シミュレーション
超小型誘導結合型プラズマ源の粒子シミュレーション
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超小型电感耦合等离子体源的粒子模拟
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
斧高一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
鷹尾祥典;江利口浩二;斧高一
