Improvement of capacitance-voltage (C-V) characteristics of YSZ/Si(001) and ZrO_2/Si thin film by Nb-doping

Improvement of capacitance-voltage (C-V) characteristics of YSZ/Si(001) and ZrO_2/Si thin film by Nb-doping
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Nb掺杂改善YSZ/Si(001)和ZrO_2/Si薄膜的电容-电压(C-V)特性

DOI:
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发表时间:
2003
期刊:
Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 747
影响因子:
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通讯作者:
N.Mizutani
N.Mizutani
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
N.Wakiya;T.Moriya;K.Shinozaki;N.Mizutani

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