真空中でのウェハ高速搬送を実現する電気粘着チャックの開発
真空中でのウェハ高速搬送を実現する電気粘着チャックの開発
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开发实现真空高速晶圆传送的电动吸附吸盘
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
志田佳彦;他
