Top-down InGaAs/GaAs nanopillars fabrication using a bio-nano process and a neutral beam etching process
Top-down InGaAs/GaAs nanopillars fabrication using a bio-nano process and a neutral beam etching process
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使用生物纳米工艺和中性束蚀刻工艺自上而下制造 InGaAs/GaAs 纳米柱
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Seiji Samukawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Cedric Thomas;Kenichi Yoshikawa;Chang-Yong Lee;Yosuke Tamura;Akio Higo;Takayuki Kiba;Akihiro Murayama;Ichiro Yamashita;Seiji Samukawa
