Functional Sputter-Coatings of Inner Surface of Narrow Tubes by the Second Harmonic Electron Cyclotron Resonance Plasmas

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二次谐波电子回旋共振等离子体对窄管内表面进行功能性溅射涂层

DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
Proc.The 9th Joint Symposium of Nagasaki University and Cheju National University on Science and Technology
影响因子：
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通讯作者：
H.Fujiyama
H.Fujiyama
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
T.Saida;M.Sasao;M.Isobe;A.V.Krasilnikov;R.Kumazawa;T.Mutoh;T.Watari;T.Seki;K.Saito;M. Sasao;笹尾真実子;M. Sasao,;M. Sasao;M. Sasao^1;M. Sasao;M. Sasao;M. Sasao;K. Okada;S.KITAJIMA;S. KITAJIMA;H.Fujiyama;Y.Nitta;Y.Nitta;H.Fujiyama

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