TiO2膜の高速低温スパッタ成膜法
TiO2膜の高速低温スパッタ成膜法
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TiO2薄膜的高速低温溅射方法
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
星陽一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Mimura;S. Motonami;Y. Shim;K. Wakita;Z. Jahangirli;O. Alekperov;N. Mamedov;H. Sato;Y. Utsumi;S. Ueda;K. Shimada;Y. Taguchi;K. Kobayashi;H. Namatame;and M. Taniguchi;星陽一
