Epitaxial Transformation of Evaporated-Ti Thin Films during Nitriding Processes
Epitaxial Transformation of Evaporated-Ti Thin Films during Nitriding Processes
复制标题
氮化过程中蒸发钛薄膜的外延转变
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Yamamoto and M. Yoshikawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Kasukabe;Y. Chen;S. Yamamoto and M. Yoshikawa
