J.Yanagisawa: "Low Energy Focused Ion Beam System and Direct Deposition of Au and Si" J.Vac. Sci Technol. B. 13. 2621-2624 (1995)
J.Yanagisawa: "Low Energy Focused Ion Beam System and Direct Deposition of Au and Si" J.Vac. Sci Technol. B. 13. 2621-2624 (1995)
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J.Yanagisawa：“低能量聚焦离子束系统和金和硅的直接沉积”J.Vac。
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