亀川宣宏: "大口径マイクロ波プラズマによるSiのエッチングにおけるバイアス効果" 電気関係学会九州支部連合大会 講演論文集. 48. 183- (1995)
亀川宣宏: "大口径マイクロ波プラズマによるSiのエッチングにおけるバイアス効果" 電気関係学会九州支部連合大会 講演論文集. 48. 183- (1995)
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Nobuhiro Kamekawa：“大孔径微波等离子体在硅蚀刻中的偏差效应”日本电气工程师九州分会会议记录 48. 183- (1995)。
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