Tadahiro Ohmi: "Novel TFT Manufacturing with Microwave Excited High-density and Low Electron Temperature Plasma"Proceedings of The Sixth International Display Workshop. 159-162 (1999)
Tadahiro Ohmi: "Novel TFT Manufacturing with Microwave Excited High-density and Low Electron Temperature Plasma"Proceedings of The Sixth International Display Workshop. 159-162 (1999)
复制标题
Tadahiro Ohmi：“用微波激发高密度和低电子温度等离子体进行新型 TFT 制造”第六届国际显示研讨会论文集。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
