層厚の異なる酸化アルミニウムの仕事関数に及ぼす水素プラズマ照射の影響
層厚の異なる酸化アルミニウムの仕事関数に及ぼす水素プラズマ照射の影響
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氢等离子体辐照对不同层厚氧化铝功函数的影响
DOI:
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发表时间:
2020
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
田中陸太,綿野稜眞,吉田 雅史,大原渡
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Tom Melia;田中陸太,綿野稜眞,吉田 雅史,大原渡