気相反応を用いたシリコンナノ・マイクロ材料の自発生成と形状制御

気相反応を用いたシリコンナノ・マイクロ材料の自発生成と形状制御
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利用气相反应自发生成硅纳米/微米材料并控制形状

DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
稲澤晋
稲澤晋
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Y. Mitsuhashi;A. Ito;稲澤晋

文献摘要

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