Self-supporting ta-C film consisting of laminated layers prepared using T-shape filtered arc deposition
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采用 T 形过滤电弧沉积制备的由层压层组成的自支撑 ta-C 薄膜
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Kunitsugu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Harigai;M. Yamano;Y. Kondo;F. Yoda;S. Degai;T. Tanimoto;Y. Suda;H. Takikawa;M. Nishiuchi;H. Sakaki;K. Kondo;S. Kaneko;S. Kunitsugu
