Piezoceramic Stack Actuators for Micropositioning Stage

Piezoceramic Stack Actuators for Micropositioning Stage
复制标题

用于微定位台的压电陶瓷堆栈执行器

DOI:
10.4028/www.scientific.net/kem.512-515.1337
复制
发表时间:
2012-06
期刊:
Key Engineering Materials
影响因子:
--
通讯作者:
褚祥诚
褚祥诚
中科院分区:
其他
文献类型:
--
作者:
徐亚楠;褚祥诚

文献摘要

参考文献

相似文献

Based on piezoceramic stack actuators, a stage (dimension of 50mm×50mm×11mm) with a symmetric displacement magnifying mechanism is studied in this paper. FEM simulations are carried out to reveal the performance of the micropositioning stage and the ampli
DOI: 10.1063/1.1494855
发表时间: 2002-08-01
影响因子: 1.6
作者:
Wu, YF;Zhou, ZY
通讯作者: Zhou, ZY
DOI: 10.1063/1.1499761
发表时间: 2002-08
影响因子: 1.6
作者:
Y. Tseytlin
通讯作者: Y. Tseytlin
DOI: --
发表时间: 1965
期刊: --
影响因子: --
作者:
J. Paros
通讯作者: J. Paros
DOI: 10.1088/0957-4484/10/4/306
发表时间: 1999-12-01
期刊: NANOTECHNOLOGY
影响因子: 3.5
作者:
Gao, P;Swei, SM;Yuan, ZJ
通讯作者: Yuan, ZJ