ECRプラズマエッチング装置における均一プラズマ生成とマイクロ波伝搬モードの検討
ECRプラズマエッチング装置における均一プラズマ生成とマイクロ波伝搬モードの検討
复制标题
ECR等离子体刻蚀设备均匀等离子体产生及微波传播模式研究
DOI：
--
复制
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
篠原俊二郎
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
田村仁;手束勉;桑原大介;篠原俊二郎
