アモルファス相を含むSi-Ge系薄膜の熱伝導率測定
アモルファス相を含むSi-Ge系薄膜の熱伝導率測定
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含非晶相的Si-Ge薄膜的热导率测量
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
竹内恒博
中科院分区：
文献类型：
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作者：
西野俊佑; 竹内恒博
