PIG-PECVD法によって作製されるa-C:H膜の光学特性の基板温度依存性
PIG-PECVD法によって作製されるa-C:H膜の光学特性の基板温度依存性
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PIG-PECVD 法制备的 a-C:H 薄膜光学性能与衬底温度的关系
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
沈 用球
中科院分区：
文献类型：
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作者：
近藤 裕佑;筧 芳治;佐藤 和郎;松村 直巳;沈 用球
