Thermoelectric Properties of Si/Ge Multi-nanolaye Films Prepared by Ion-beam Sputtering Technique
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复制标题
离子束溅射技术制备Si/Ge多层纳米薄膜的热电性能
DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
T.Hata
中科院分区:
文献类型:
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作者:
M.Kitai;H.Watase;K.Sasaki;T.Hata