Si高指数面熱酸化過程における温度依存性の解析
Si高指数面熱酸化過程における温度依存性の解析
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硅高指数表面热氧化过程的温度依赖性分析
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中正俊
中科院分区：
文献类型：
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作者：
安部壮祐;大野真也;兼村瑠威;吉越章隆;寺岡有殿;尾形祥一;安田哲二;田中正俊
