J.Z.Yu, N.Masui, Y.Yuba, T.Hara, M.Hamaguchi, Y.Aoyagi, K.Gamo and S.Namba: "Induced Defects in GaAs Etched by Low Energy Ions in Electron Beam Excited Plasma (EBEP) System" Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 28 pp.222-226(1989).
J.Z.Yu, N.Masui, Y.Yuba, T.Hara, M.Hamaguchi, Y.Aoyagi, K.Gamo and S.Namba: "Induced Defects in GaAs Etched by Low Energy Ions in Electron Beam Excited Plasma (EBEP) System" Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 28 pp.222-226(1989).
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J.Z.Yu、N.Masui、Y.Yuba、T.Hara、M.Hamaguchi、Y.Aoyagi、K.Gamo 和 S.Namba：“电子束激发等离子体 (EBEP) 系统中低能离子蚀刻的 GaAs 中的诱导缺陷
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