Nitrogen plasma for h-BN deposition
Nitrogen plasma for h-BN deposition
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用于 h-BN 沉积的氮等离子体
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小口治久
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小口治久
