低コヒーレンス位相シフト干渉法を用いたナノ潤滑膜の三次元画像計測
低コヒーレンス位相シフト干渉法を用いたナノ潤滑膜の三次元画像計測
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使用低相干相移干涉仪测量纳米润滑油膜的三维图像
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
福澤健二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
張賀東;三矢保永;坂野貴裕;福澤健二
