Si添加DLC膜の耐熱性発現メカニズムに関する研究
Si添加DLC膜の耐熱性発現メカニズムに関する研究
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加Si DLC薄膜耐热发展机理研究
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
池永 訓昭
中科院分区：
文献类型：
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作者：
秋澤 充悟;中澤 諒;池永 訓昭
