Y.SETSUHARA,M.YAMASHITA,S.MIYAKE,M.KUMAGAI and J.MUSIL: "Studies on Magnetron Sputtering Assisted by Inductively Coupled RF Plasma for Enhanced Metal Ionization" Jpn.J.Appl.Phys.(to be published). (1999)
Y.SETSUHARA,M.YAMASHITA,S.MIYAKE,M.KUMAGAI and J.MUSIL: "Studies on Magnetron Sputtering Assisted by Inductively Coupled RF Plasma for Enhanced Metal Ionization" Jpn.J.Appl.Phys.(to be published). (1999)
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Y.SETSUHARA、M.YAMASHITA、S.MIYAKE、M.KUMAGAI 和 J.MUSIL：“感应耦合射频等离子体辅助磁控溅射增强金属电离的研究”Jpn.J.Appl.Phys.（待出版）。
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