Process characterization of fabricating 3D micro channel systems by laser-micromachining

Process characterization of fabricating 3D micro channel systems by laser-micromachining
复制标题

DOI:
10.1016/s0924-4247(02)00016-x
复制
发表时间:
2002-04
影响因子:
4.6
通讯作者:
S. Qin;W. Li
S. Qin;W. Li
中科院分区:
工程技术3区
文献类型:
--
作者:
S. Qin;W. Li

文献摘要

被引文献

相似文献