Amorphous waveguides for high index photonic circuitry

Amorphous waveguides for high index photonic circuitry
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用于高折射率光子电路的非晶波导

DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
2009 Conference on Optical Fiber Communication - incudes post deadline papers
影响因子：
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通讯作者：
J. Muller
J. Muller
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
T. Lipka;A. Harke;O. Horn;J. Amthor;J. Muller

文献摘要

被引文献

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光子线、通道波导和肋形波导以及锥体均采用非晶硅制成，具有低传播损耗。进行材料分析和 RTA 以调整沉积后的折射率。
Photonic wires, channel and rib waveguides as well as tapers were fabricated with amorphous silicon showing low propagation loss. Material analysis and RTA was carried out in order to tune the refractive index post deposition.