レーザー励起EUV光源におけるターゲットの分散、微粒子発生の流体シミュレーション
レーザー励起EUV光源におけるターゲットの分散、微粒子発生の流体シミュレーション
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激光激发 EUV 光源中目标色散和粒子生成的流体模拟
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
佐々木明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
佐々木 明;砂原 淳;西原 功修;西川 亘;佐々木 明;佐々木明;佐々木明;A. Sasaki;レーザー励起プラズマEUV光源ターゲット分散過程のモデル構築(2);佐々木明
