Erosion behavior of carbon deposition layers formed by hydrogen plasm a sputtering
Erosion behavior of carbon deposition layers formed by hydrogen plasm a sputtering
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氢等离子体溅射沉积碳层的侵蚀行为
DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Fukada
中科院分区:
文献类型:
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作者:
T.;Okamura・K.;Katayama・K.;Imaoka・Y.;Uchida・M.;Nishikawa・S.;Fukada
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影响因子:
3.1
作者:
R. Penzhorn;N. Bekris;W. Hellriegel;H. Noppel;W. Nägele;H. Ziegler;R. Rolli;H. Werle;A. Haigh;A. Peacock
通讯作者:
A. Peacock
影响因子:
3.1
作者:
Y. Ishimoto;Y. Gotoh;T. Arai;K. Masaki;N. Miya;N. Oyama;N. Asakura
通讯作者:
N. Asakura
影响因子:
1.7
作者:
K. Masaki;K. Kodama;T. Ando;M. Saidoh;M. Shimizu;T. Hayashi;K. Okuno
通讯作者:
K. Okuno
影响因子:
3.1
作者:
N. Bekris;C. Caldwell;L. Doerr;M. Glugla;R. Penzhorn;H. Ziegler
通讯作者:
H. Ziegler
影响因子:
1.7
作者:
W. Shu;C. Gentile;C. Skinner;S. Langish;M. Nishi
通讯作者:
M. Nishi