硫酸バリウム含有メカノケミカル複合超砥粒砥石による単結晶シリコンの超仕上性能
硫酸バリウム含有メカノケミカル複合超砥粒砥石による単結晶シリコンの超仕上性能
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含硫酸钡力化学复合超硬磨料砂轮对单晶硅的超精加工性能
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
荒木大秀,古城直道,山口智実,松森昇,尾倉秀一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A.Yui;A.Honda;T.Kitajima; H.Saito;X.Lu;A.H.Slocum;河北誠也，山城天心，木村景一，カチョーンルンルアンパナート，鈴木恵友;荒木大秀,古城直道,山口智実,松森昇,尾倉秀一
