A.Usami, T.Notori, A.Ito, T.Sugiyama, S.Hirota, Y.Tokuda and T.Wada: "Studies of oxygen introduced during thermal oxydation and defects induced by rapid thermal annealing in silicon epitaxial layers" Mat. Res. Soc. Symp. Proc.244. 95-100 (1991)
A.Usami, T.Notori, A.Ito, T.Sugiyama, S.Hirota, Y.Tokuda and T.Wada: "Studies of oxygen introduced during thermal oxydation and defects induced by rapid thermal annealing in silicon epitaxial layers" Mat. Res. Soc. Symp. Proc.244. 95-100 (1991)
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A.Usami、T.Notori、A.Ito、T.Sugiyama、S.Hirota、Y.Tokuda 和 T.Wada：“热氧化过程中引入的氧以及硅外延层中快速热退火引起的缺陷的研究”Mat。
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