SiCスパッタ薄膜のはく離強度に及ぼす界面微細突起物の影響
SiCスパッタ薄膜のはく離強度に及ぼす界面微細突起物の影響
复制标题
界面细小突起对SiC溅射薄膜剥离强度的影响
DOI：
--
复制
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
菅田淳
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
加藤昌彦;林真人;曙紘之;菅田淳
