4H-SiC基板表面におけるステップアンバンチング現象
4H-SiC基板表面におけるステップアンバンチング現象
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4H-SiC衬底表面台阶解聚现象
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
乗松航
中科院分区：
文献类型：
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作者：
榊原涼太郎;乗松航
