Formation of amorphous-CN thin films by the deposition of CN radicals -Absolute density of gas-phase CN
Formation of amorphous-CN thin films by the deposition of CN radicals -Absolute density of gas-phase CN
复制标题
CN自由基沉积形成非晶CN薄膜-气相CN的绝对密度
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H.Saitoh
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Ito;H.Saitoh
