UVナノインプリントにおける離型材料、レジスト、ガス雰囲気の評価
UVナノインプリントにおける離型材料、レジスト、ガス雰囲気の評価
复制标题
UV纳米压印中脱模材料、抗蚀剂和气体气氛的评估
DOI：
--
复制
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
松井真二
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
岡田真;松井真二
