High-quality High-k SrTa2O6 dielectric film Fabricated by Sol-gel Method Using High Pressure Vapor Annealing
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采用高压蒸汽退火溶胶凝胶法制备高质量高 k SrTa2O6 介质薄膜
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Haruka Yamazaki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Haruka Yamazaki;Yasuaki Ishikawa;Mami N. Fujii;Juan Paolo Bermundo;Eiji Takahashi;Yasuaki Andoh;and Yukiharu Uraoka;山﨑 はるか;Haruka Yamazaki
