Fine etching process for fabrication of single electron sources
Fine etching process for fabrication of single electron sources
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用于制造单电子源的精细蚀刻工艺
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Kensuke Kobayashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shota Norimoto;Shuichi Iwakiri;Masahiko Yokoi;Tomonori Arakawa;Yasuhiro Niimi;and Kensuke Kobayashi
