ファイバ光源を利用したPDI計測装置による大口径ミラーの絶対形状計測

ファイバ光源を利用したPDI計測装置による大口径ミラーの絶対形状計測
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使用使用光纤光源的 PDI 测量装置对大直径镜子进行绝对形状测量

DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
2004年度精密工学会秋季大会 学術講演会講演論文集
影响因子:
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通讯作者:
井上晴行
井上晴行
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
押鐘 寧;片岡俊彦;中村崇亮;中野元博;井上晴行

文献摘要

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