Optimization of Growth Parameters in Electron Beam Induced Orientation Selective Epitaxial Growth of C_eO_2(100)/Si(100) Structures
Optimization of Growth Parameters in Electron Beam Induced Orientation Selective Epitaxial Growth of C_eO_2(100)/Si(100) Structures
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C_eO_2(100)/Si(100)结构电子束诱导定向选择性外延生长参数优化
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Shida
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Inoue;H. Ohtake;J. Ota ni;S. Shida
