Growth of GaN Films by Hot-Mesh Chemical Vapor Deposition Using Ruthenium Coated Tungsten Mesh

Growth of GaN Films by Hot-Mesh Chemical Vapor Deposition Using Ruthenium Coated Tungsten Mesh
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使用镀钌钨网通过热网化学气相沉积生长 GaN 薄膜

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
Japanese Journal Applied Physics 47
影响因子:
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通讯作者:
T. Akahane
T. Akahane
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Y. Fukada;K. Yasui;Y. Kuroki;M. Suemitsu;T. Ito;T. Endoh;H. Nakazawa;Y. Narita;M. Takata;T. Akahane

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