ポリSiゲート中の不純物原子の粒界偏析の3次元観察
ポリSiゲート中の不純物原子の粒界偏析の3次元観察
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多晶硅栅极中杂质原子晶界偏析的3D观察
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
長谷川雅幸
中科院分区：
文献类型：
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作者：
井上耕治;矢野史子;西田彰男;外山健;永井康介;長谷川雅幸
