Evaluation and Modeling of Adhesion Layer in Shock-Protection Structure for MEMS Accelerometer
Evaluation and Modeling of Adhesion Layer in Shock-Protection Structure for MEMS Accelerometer
复制标题
MEMS 加速度计防震结构中粘合层的评估和建模
DOI：
10.1016/j.microrel.2016.09.018
复制
发表时间：
2016
影响因子：
1.6
通讯作者：
Kazuya Masu and Katsuyuki Machida
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Daisuke Yamane;Toshifumi Konishi;Teruaki Safu;Hiroshi Toshiyoshi;Masato Sone;Kazuya Masu and Katsuyuki Machida
