基于(111)硅单片集成三轴加速度计的工艺研究
基于(111)硅单片集成三轴加速度计的工艺研究
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DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
李昕欣
中科院分区：
文献类型：
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作者：
赵忆;王家畴;陈方;李昕欣
