K. Tachibana: "Ion impact energy distributions and properties of amorphous hydrogenated carbonthin films preparedinaself-biasedrf discharge" Japanese Journal of Applied Physics. 33. 6341-6349 (1994)
K. Tachibana: "Ion impact energy distributions and properties of amorphous hydrogenated carbonthin films preparedinaself-biasedrf discharge" Japanese Journal of Applied Physics. 33. 6341-6349 (1994)
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K. Tachibana：“自偏置射频放电制备的非晶氢化碳薄膜的离子冲击能量分布和特性”日本应用物理学杂志。
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