ファイバー状Zn(C5H7O2)2・xH2OとO3を原料に用いたMO-CVD法による高抵抗ZnO薄膜の作製
ファイバー状Zn(C5H7O2)2・xH2OとO3を原料に用いたMO-CVD法による高抵抗ZnO薄膜の作製
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以纤维状Zn(C5H7O2)2·xH2O和O3为原料采用MO-CVD法制备高阻ZnO薄膜
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
羽賀浩一,阿部修,瀧澤義浩,湯葢邦夫,宍戸統悦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Haga;M.Sakuma;Y.Takizawa;S.Seki;羽賀浩一,瀧澤義浩,金子義生,湯葢邦夫,宍戸統悦;羽賀浩一;羽賀浩一,阿部修,瀧澤義浩,湯葢邦夫,宍戸統悦
