MONOS型メモリにおけるSiN層のN空孔型欠陥の原子構造と電子構造

MONOS型メモリにおけるSiN層のN空孔型欠陥の原子構造と電子構造
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MONOS存储器SiN层N空位型缺陷的原子结构和电子结构

DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
山口慶太
山口慶太
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
T. Uesugi;Y. Inoue;Y. Takigawa;K. Higashi;山口慶太

文献摘要

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