下妻光夫: "低周波プラズマCVDによる薄膜堆積" 日本学術振興会・プラズマ材料科学 第153委員会・第6回研究会資料. 6. 26-33 (1989)
下妻光夫: "低周波プラズマCVDによる薄膜堆積" 日本学術振興会・プラズマ材料科学 第153委員会・第6回研究会資料. 6. 26-33 (1989)
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Mitsuo Shimotsuma：“低频等离子体CVD薄膜沉积”日本学术振兴会/等离子体材料科学第153届委员会/第6次研究会议材料。6. 26-33 (1989)。
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