南 和幸, 矢野修一: "繊毛電極分布型静電マイクロアクチュエータ"第20回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム. (発表予定). (2003)
南 和幸, 矢野修一: "繊毛電極分布型静電マイクロアクチュエータ"第20回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム. (発表予定). (2003)
复制标题
Kazuyuki Minami、Shuichi Yano:“纤毛电极分布式静电微致动器”第 20 届“传感器微机械和应用系统”研讨会(预定演讲)。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: