Morphological Stability of Si (001) Surface in Mixture Fluid of Ultrapure Water and Silica Powder Particles in Elastic Emission Machining
Morphological Stability of Si (001) Surface in Mixture Fluid of Ultrapure Water and Silica Powder Particles in Elastic Emission Machining
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弹性发射加工中超纯水和二氧化硅粉末颗粒混合流体中Si(001)表面的形貌稳定性
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Akihisa Kubota;et al.
